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国内首条超高纯铝溅射靶基材生产线实现批量生产

来源:中国有色网 日期:2020-03-02


  在全国人民抗击新冠病毒肺炎疫情关键时期,新疆众和股份有限公司一手抓疫情防控,一手抓生产经营。日前,该公司成功开发出了国内领先的全套超高纯铝溅射靶基材生产工艺和技术,成为独立于欧洲海德鲁铝业公司、日本住友化学体系公司外的第三条完整产业链。通过多方验证,产品全面符合市场要求,成功实现了批量供货。
  高纯溅射靶材是伴随着全球半导体工业的发展而兴起的,集成电路产业成为目前高纯溅射靶材的主要应用领域之一,半导体用靶材基材制备被誉为材料制备工业王冠上明珠。
  一段时间以来,中国拥有铝基生产溅射靶材所需的各种基础矿源,但金属提纯技术主要由美国、日本、挪威、法国等国家掌握。国内靶材厂商主要通过从国外进口获得高纯金属及基材供应,每年达数千吨,价格较高且不能及时交货。
  新疆众和作为我国铝电子新材料研制企业,是国内最早规模开发、生产高纯铝的企业,积累了30余年的高纯铝研发生产经验。在公司上下同心的全力支持下,公司破釜沉舟,克服重重困难,开始了十余年的超高纯铝溅射靶基材研发之路,通过与集成电路相关企业承担国家专项项目联合研发,决定建设超高纯铝溅射靶基材中试工厂,相继克服了超高纯铝(5N5)规模生产过程中杂质元素污染、产品表面质量及内部晶粒组织细化控制、氢含量必须小于0.1ppm、晶粒取向控制等一系列难题,最终打通了超高纯铝溅射靶基材的工艺技术,成为国内唯一一家可以规模生产超高纯铝溅射靶基材企业,铝纯度可达到99.9995%(5N5)。同时,新疆众和、东北大学联合申报的“洁净、细晶5N5超高纯铝的制备关键技术及应用”项目还荣获2019年中国有色金属工业科学技术奖一等奖。
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